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沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留的處理辦法有哪些(二)

文章出處:未知 網(wǎng)責(zé)任編輯:admin 閱讀量:134 發(fā)表時(shí)間:2021-06-02 10:41

菊恩實(shí)業(yè)小編建議處理沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留還可以用:
沸石轉(zhuǎn)輪中VOCs殘留的處理辦法有哪些(二)
2.高溫再生
一般情況下,晶片制造沸石轉(zhuǎn)輪的再生溫度為180-200℃,在此溫度下,高沸點(diǎn)的二甘醇胺等物質(zhì)不能有效地從沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)脫附,從而逐漸積聚在滾筒內(nèi)。
通過對沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)高沸點(diǎn)物質(zhì)聚集情況的研究,發(fā)現(xiàn)在沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)運(yùn)行1個(gè)月后,滾筒內(nèi)的確存在較大數(shù)量的有機(jī)物聚集,其聚集量約為6wt%。經(jīng)有效高溫脫附后,有機(jī)物質(zhì)的積聚量可減少40%~60%左右。結(jié)果表明,高溫脫附能較好地去除沸石轉(zhuǎn)輪中高沸點(diǎn)有機(jī)物。
如果高溫脫附溫度選擇過高,則會對沸石分子篩的骨架結(jié)構(gòu)造成一定影響,從而影響分子篩的使用壽命。建議選用300℃左右高溫脫附,且相應(yīng)的沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)部配件均需采用可耐300℃高溫的密封配件。
3.再生洗滌
晶片制造工業(yè)中常用的有機(jī)材料一般都有很好的水溶性,可以用水洗再生的方法去除沸石轉(zhuǎn)輪中聚集的高沸物。
水洗再生能有效地提高沸石轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)的治理效率,對工廠而言,水洗再生次數(shù)達(dá)到4~6次/年時(shí),治理效率可達(dá)95%~99%。所以,適當(dāng)增加定期水洗再生頻率,可以有效地防止沸石轉(zhuǎn)輪內(nèi)高沸點(diǎn)物質(zhì)的聚集,保持高治理效率。
分子篩在陶瓷纖維紙表面涂布,通常是用無機(jī)粘結(jié)劑來制作沸石轉(zhuǎn)輪,因此當(dāng)水洗時(shí),不僅沸石分子篩不會出現(xiàn)龜裂變形,而且也不會出現(xiàn)因分子篩脫落而造成的性能下降,使用壽命縮短等問題。
但水洗時(shí)要注意水質(zhì)狀況,如果水中含有大量的鈣、鎂等離子,就會在沸石內(nèi)部形成碳酸鹽,堵塞了沸石轉(zhuǎn)輪中的蜂窩狀孔道;水中微量重金屬物質(zhì)、氯等也會對沸石造成毒化。
需要指出的是,并非所有沸石轉(zhuǎn)輪材料都耐水洗,企業(yè)在水洗再生前,應(yīng)向沸石轉(zhuǎn)輪設(shè)備制造商做好相關(guān)咨詢工作。
4.高壓空氣凈化裝置
各企業(yè)在停機(jī)檢維修期間,采用高壓空氣吹掃沸石轉(zhuǎn)輪。但由于VOCs有機(jī)物通常吸附在分子篩孔洞內(nèi),不能被有效地去除,因此菊恩實(shí)業(yè)小編建議需要選用高壓空氣吹掃來清除沸石轉(zhuǎn)輪表面附著的塵埃,并應(yīng)與上述處理方法配合使用。